Controllatore di flusso di massa CS100-Fornitore globale

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Controllatore di flusso di massa CS100

I prodotti CS100 sono sviluppati sulla base della piattaforma tecnologica della serie CS di sensori a potenza costante, sulla base della tecnologia di

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Dettagli del prodotto

Vantaggi

• I prodotti CS100 sono progettati su misura per i clienti,
• Il cliente può scegliere tra ±15V doppia alimentazione o +24 singola alimentazione a seconda delle esigenze;
• sigillazioni in metallo o in gomma;
• Le dimensioni del prodotto sono disponibili per i prodotti conformi agli standard SEMI internazionali o per i prodotti a serratura.

Parametri tecnici

CS100

Modello

CS100A

CS100D

Tipo di valvola

Spesso chiuso

Nessuno

Spesso chiuso

Nessuno

Specifiche di flusso (N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

Precisione

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

lineare

±0.5% F.S.

Ripetizione di precisione

±0.2% F.S.

Tempo di risposta

≤ 1sec

Intervalo di pressione di lavoro

0.05～0.35MPa； Specifiche di flusso ≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10 <Specifiche di flusso≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30 <Specifiche di flusso≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； Specifiche di flusso ≤10SLM
0.1～0.35MPa； 10 <Specifiche di flusso≤30SLM

＜0.02 MPa

coefficiente di temperatura

Punto zero: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Regolazione: ≤±0,1% F.S/℃

Resistenza alla pressione

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

Tasso di perdita

1×10^-9Pa·m³/ sec He（1×10^-8atm·cc / sec He）

Materiale di tenuta

Gomma fluorinata

Sigillatura metallica

Pressione di lavoro massima

0.45MPa

Temperatura ambiente di lavoro

（5～45）℃

Segnale di ingresso

Simulazione:
(0～5)VDC

Numero: RS485

Nessuno

Simulazione:
(0～5)VDC

Numero: RS485

Nessuno

Segnale di uscita

Simulazione:
(0～5)VDC

Numero: RS485

Simulazione: (0-5) VDC

Numero: RS485

Simulazione:
(0～5)VDC

Numero: RS485

Simulazione:
(0～5)VDC

Numero: RS485

Forma di connettore di alimentazione